静电消除器在半导体行业的应用

静电对半导体行业的危害以及静电消除器解决办法。

  半导体器件生产车间，由于尘埃吸附在芯片上，集成电路（IC）尤其是超大规模集成电路(VLSI)的成品率会大大下降。尘埃吸附，最大的原因是由于静电。

  而IC受到ESD时，放电回路的电阻通常都很小，无法限制放电电流。例如将带静电的电缆插到电路接口上时，放电回路的电阻几乎为零，这将造成高达几十安培的瞬间放电尖峰电流流入相应的IC管脚。

     瞬间大电流会严重损伤IC，局部发热的热量甚至会融化硅片管芯。ESD对IC的损伤一般还包括内部金属连接被烧断、钝化层被破坏、晶体管单元被烧坏等。 静电给半导体材料行业带来了难以估计的损失。

  静电解决方案：

  建议在生产流水线使用专门的静电消除器离子风机。它们利用高压电离出空气中的电荷与物体上的静电电荷相中和，从而达到消除静电的目的，具有快速、稳定的特点。

  离子风机的选择要求，离子平衡度，跟静电消散时间必须达标，根据市场调研，韩国DIT是专门针对半导体、电子行业研发的静电消除设备，在电子行业大量应用。

  客户可根据需要选择以下产品的静电消除器：

  AMF90离子风机：超高离子平衡度：低于30V，离子平衡度可调整。

  AMF-AE 离子风机：超高离子平衡度：低于平均30V，大范围除静电：200mm-1500mm可调节。

  ASF-AD/PD单头离子风机：超高离子平衡度：低于10V，多级风速调节：5级风量可调（采用了120mm风扇，最大可达4.6m?/min）如果空间狭小可以选择：袖珍型离子风机：SF-40A袖珍型离 

      子风机，离子平衡度小于±10V！离子平衡度调整：可用螺丝刀转动调节。